طالبة دراسات عليا تنال شهادة ماجستير فيزياء الليزر حول تحضير وتحديد خصائص ألسيلكون في المتحسسات الغازية

منح فرع فيزياء الليزر - قسم العلوم التطبيقية في الجامعة التكنولوجية شهادة الماجستير في تخصص فيزياء الليزر للطالبة رؤى عادل عباس عن رسالتها الموسومة " تحضير وتحديد خصائص ألسيلكون في المتحسسات الغازية" حيث اقيمت المناقشة على القاعة المرحوم أ.د عبد المطلب ابراهيم الشيخ في القسم .
وتألفت لجنة المناقشة من أ.د بسام غالب رشيد جامعة النهرين / كلية الهندسة رئيسا وبعضوية أ.م.د مظفر علي محمد وأ.م.د. محمد سلمان محمد وأ.م.د. علوان محمد علوان مشرفاً و أ.م.د كاظم عبد الواحد عادم خبيرا علميا وأ.م.د. نجم عد الكاظم جواد خبيرا لغويا.
حيث بينت الباحثة أن عملية التنميش الضوء كهروكيميائية لشريحة السليكون من النوع المانح بمقاومية (10اوم.سم) وباتجاه (100) مستخدمين مصدرين للضوء: مصدرالاشعة تحت الحمراء بطول موجي(810)نانومتر وشدة إضاءة (2 واط لكل سم مربع) ومصدر الأشعة البنفسجية بطول موجي (405 نانومتر) وشدة إضاءة (20 ملي واط لكل سم مربع) بوجود حامض فلوريد الهيدروجين بتركيز 24% و16% على التوالي تم توظيفها لانتاج السليكون المسامي لعملية تحسس الغازات .عملية التصنيع جرت بكثافة تيار تنميش ثابت مقدارها 25 ملي امبير لكل سم مربع وازمان تنميش مختلفة (5,10,15,20) دقيقة بالنسبة لمصدر الاشعة تحت الحمراء و(8,16,24,30) دقيقة بالنسبة لمصدر الاشعة البنفسجية. اثنان من الاشكال الهندسية للمتحسس الغازي تم صنعتها ودراستها وهي الشكل البسيط والشكل المركب.
وأن الخصائص التركيبية لطبقة السليكون المسامي المضاءة بالاشعة تحت الحمراء اظهرت تراكيب مختلفة للمسامات بشكل كروي او مستطيل موزعة بشكل عشوائي على سطح السليكون. حجم المسام يتراوح من(1-6) مايكرومتر لازمان التنميش التي تتراوح من(5-20) دقيقة, بينما عند 30 دقيقة من زمن التنميش فان تركيب السليكون المسامي يظهر بتركيب طيني الشكل بابعاد مختلفة. طبقة المضاءة بالاشعة البنفسجية اظهرت تراكيب متقاطعة باحجام مختلفة.
وحيث اظهرت قياسات تحويلات فورير للاشعة تحت الحمراء ان قمم الامتصاص اواصرالسليكون-الهيدروجين واواصر السليكون-الاوكسجين – السليكون قد ازدادت مع زيادة زمن التنميش نتيجة لزيادة مقدار المسامية لطبقة السليكون المسامي.
وأن خصائص التلؤلؤ البصري لطبقة السليكون المسامي المضاءة بالاشعة تحت الحمراء والبنفسجية اظهرت نقصان في قمة التلؤلؤ وانحيازه باتجاه الطول الموجي الازرق مع زيادة زمن التنميش ,لكن هذا النقصان يظهر بشكل اعلى للسليكون المسامي المحضر بالاشعة البنفسجية مما هو عليه باستخدام الاشعة تحت الحمراء. شدة التلؤلؤ البصري للسليكون المسامي المضاء بالاشعة البنفسجية هي اعلى منها بالنسبة للسليكون المسامي المضاء بالاشعة تحت الحمراء.
وتم أجراء عملية تحسس الغاز لغاز ثاني اوكسيد الكاربون عند درجات حرارة تشغيل مختلفة(25,50,100,150) سليزية عند تركيز ثابت للغاز. في التركيب الهندسي البسيط فان تحسس الغاز تم قياسه من خلال تغيير المقاومية كدالة لزمن التعرض,بينما للتركيب الهندسي المركب فان خصائص التيار-فولتية تم اجراؤها لتحديد مقدار المقاومية.
خصائص التيار- فولتية للتركيب الهندسي المركب اظهرت اعلى قيمة للتحسسية لطبقة السليكون المسامي كمتحسس غازي حوالي(94.5%) لعينة السليكون المسامي المحضرة باستخدام الليزر البنفسجي عند درجة الحرارة 150 سليزية وزمن تنميش 30 دقيقة وحدود الكشف للتحسسية تم الحصول عليها لطبقة السليكون المسامي المحضر بليزر الاشعة تحت الحمراء حوالي(73%) عند درجة الحرارة 50 سليزية وزمن تنميش (5 دقائق).
بينما للتركيب الهندسي البسيط فان اعلى استجابة ديناميكية هي حوالي (65%) لطبقة السليكون المسامي المحضرة بالاشعة تحت الحمراء عند زمن تنميش 15 دقيقة ودرجة حرارة 25 سليزية واقل زمن استجابة هو (50 ثانية) واقل زمن انتعاش هو (75 ثانية) وحدود الكشف لهذا التركيب حوالي(3.6%) عند درجة حرارة (50) سيليزية وزمن تنميش (5دقائق)...... انتهى

رجوع